使用耐腐蝕碳化硅陶瓷反應器，連續安全

氟氣極其貨品，其直接參與反應時很難控制選擇性。常用的方式是先氯化，再用HF氟化。采用連續微反應器技術，為氟氣直接氟化提供了便利。同時，操作也更安全，更。